Thông tin tổng quan
- Khách hàng: Công ty TNHH Công nghệ Shunsin Việt Nam
- Địa điểm: Khu vực B3F, Lô H, KCN Quang Châu, Bắc Ninh
- Lĩnh vực: Sản xuất vi mạch và linh kiện bán dẫn chính xác cao
- Quy mô: 16.678 m² | 12 phòng sạch | Tầng 1 – tầng 4, khu B3F
- Cấp độ sạch thiết kế: ISO Class 5 – ISO Class 7
- Tiêu chuẩn phân loại cấp độ sạch: ISO 14644-1:2015
Shunsin Technology Việt Nam là doanh nghiệp hoạt động trong lĩnh vực sản xuất vi mạch và linh kiện bán dẫn chính xác cao, với nhà máy đặt tại Khu công nghiệp Quang Châu, Bắc Ninh. Phục vụ hoạt động sản xuất, khu vực B3F được triển khai với quy mô 16.678 m², gồm 12 phòng sạch, có cấp độ sạch thiết kế từ ISO Class 5 đến ISO Class 7.
Tại dự án này, INSTI thực hiện đo kiểm, thẩm định các hạng mục phòng sạch trong phạm vi khu vực B3F
Công việc bao gồm đánh giá:
- Tiểu phân trong không khí
- Nhiệt độ – độ ẩm
- Độ ồn
- Chênh lệch áp suất
- Điện trở sàn ESD
Bài toán kỹ thuật: Đánh giá đồng bộ hệ thống phòng sạch 16.678 m²
Với 12 phòng sạch trải rộng từ tầng 1 đến tầng 4, dự án có phạm vi đánh giá lớn và nhiều nhóm thông số cần kiểm tra. Bài toán đặt ra không chỉ là thực hiện từng phép đo riêng lẻ mà còn tổng hợp kết quả để đánh giá cấp độ sạch và các điều kiện môi trường trong phạm vi dự án.
Mỗi nhóm thông số cần được xem xét theo căn cứ tương ứng: ISO 14644-1:2015 đối với phân loại cấp độ sạch tiểu phân; yêu cầu thiết kế và tiêu chí kỹ thuật áp dụng đối với các hạng mục còn lại.
Bên cạnh các thông số môi trường phòng sạch, phạm vi công việc còn bao gồm đo điện trở sàn ESD. Nhóm phép đo này cung cấp dữ liệu về đặc tính điện của sàn, bổ sung cơ sở đánh giá cho khu vực sản xuất linh kiện bán dẫn.
Giải pháp triển khai: Đo kiểm đồng bộ trên toàn bộ hệ thống
INSTI triển khai đo kiểm theo từng nhóm thông số tại khu vực B3F:
- Đánh giá cấp độ sạch tiểu phân: Đo nồng độ hạt trong không khí tại 514 điểm. Các kích thước hạt được ghi nhận trong phạm vi dự án gồm ≥ 0,3 µm; ≥0,5 µm và ≥5,0 µm. Kết quả được sử dụng phục vụ phân loại cấp độ sạch theo ISO 14644-1:2015, căn cứ vào kích thước hạt và trạng thái phòng được xác định trong hồ sơ đo kiểm.
- Đánh giá nhiệt độ – độ ẩm: Thực hiện tại 423 điểm, ghi nhận điều kiện nhiệt độ và độ ẩm tại các khu vực thuộc phạm vi phòng sạch, phục vụ đối chiếu với yêu cầu kỹ thuật của dự án.
- Đánh giá độ ồn: Thực hiện tại 423 điểm, kiểm tra mức độ ồn tại các khu vực được khảo sát.
- Đánh giá chênh áp: Đo chênh lệch áp suất tại 12 phòng sạch, đối chiếu với yêu cầu thiết kế.
- Đánh giá điện trở sàn ESD: Thực hiện tại 141 điểm, kiểm tra đặc tính điện của hệ thống sàn trong phạm vi dự án.
Tổng hợp và phân tích: Kết quả các nhóm phép đo được tổng hợp trong báo cáo kỹ thuật, phục vụ đánh giá và đối chiếu điều kiện thực tế với yêu cầu thiết kế và tiêu chí áp dụng cho từng hạng mục.
Việc triển khai và tổng hợp theo từng nhóm thông số giúp làm rõ phạm vi đánh giá, căn cứ đối chiếu và kết quả của mỗi hạng mục. Bộ dữ liệu đo kiểm cung cấp cơ sở kỹ thuật phục vụ quá trình đánh giá và nghiệm thu khu vực phòng sạch B3F.
Kết quả và giá trị mang lại từ dự án
Dự án giúp Shunsin có cơ sở kỹ thuật để đánh giá mức độ đáp ứng của khu vực phòng sạch B3F so với yêu cầu thiết kế. Các kết quả đo kiểm phản ánh điều kiện thực tế tại những vị trí được khảo sát, hỗ trợ chủ đầu tư xem xét từng hạng mục trong quá trình đánh giá và nghiệm thu.
Việc đánh giá kết hợp cấp độ sạch tiểu phân, nhiệt độ – độ ẩm, độ ồn, chênh áp và điện trở sàn ESD giúp Shunsin có thêm thông tin về các điều kiện cần kiểm soát trong khu vực sản xuất. Đây là cơ sở để xác định những thông số cần theo dõi hoặc xử lý nếu chưa đáp ứng yêu cầu kỹ thuật.
Với quy mô 16.678 m², 12 phòng sạch trên bốn tầng, dự án thể hiện năng lực triển khai đo kiểm nhiều nhóm thông số của INSTI tại công trình sản xuất bán dẫn có yêu cầu kiểm soát điều kiện phòng sạch.
INSTI – ĐỐI TÁC TIN CẬY VỀ ĐO KIỂM & GIẢI PHÁP SỐ
Với đội ngũ chuyên gia am hiểu kỹ thuật phòng sạch và hệ thống thiết bị đo kiểm chuyên dụng, tiên tiến, INSTI cung cấp giải pháp phù hợp với tiêu chuẩn và yêu cầu kỹ thuật của từng công trình.
Giải pháp được triển khai theo chuỗi đo kiểm – đánh giá – phân tích – tư vấn xử lý – đo kiểm xác nhận lại, giúp khách hàng có cơ sở xác định tình trạng phòng sạch, khắc phục các thông số chưa đáp ứng yêu cầu và kiểm tra kết quả sau xử lý.
Kết hợp với giải pháp số trong quản lý dữ liệu và giám sát thông số môi trường, INSTI hỗ trợ khách hàng từ giai đoạn đánh giá, nghiệm thu đến theo dõi và kiểm soát điều kiện phòng sạch trong quá trình vận hành.
Liên hệ INSTI để được tư vấn giải pháp đo kiểm, thẩm định và quản lý phòng sạch phù hợp với dự án của bạn.